日本HOBIBA堀場進口全新晶圓背面冷卻系統

日本HOBIBA堀場進口全新晶圓背面冷卻系統

GR-300 系列

晶圓背面冷卻系統

GR-300 系列可以控制用于冷卻由靜電吸盤系統固定到位的晶圓背面的氣體。

GR-300 的穩定性和準確性使其成為控制晶圓冷卻系統中氦氣和氬氣流量的理想選擇

• 壓力控制更穩定、更準確

• 質量流量傳感器 （可選）

• 適用于各種配件

• 符合 RoHS 標準

應用示例

在下面的示例中，GR-300 系列控制用于冷卻由靜電吸盤系統固定到位的晶圓背面的氣體。

我司代理及優勢品牌一覽明細：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

WATSON深江化成、TORAY東麗

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川

SEKONIC世光、ADVANTEC東洋等